*一、项目基本情况

项目编号：SEU-ZB-250649

项目名称：东南大学物理学院光刻工艺实验仪采购

预算金额：27.500000 万元（人民币）

采购需求：

物理学院采购光刻工艺实验仪5套，用于进行光刻工艺实验教学，拥有涂胶，烘烤，光刻，显影等功能，并可以制备标准分辨率片，光栅片，菲涅尔透镜片，以及进行光栅常数的测量与演示。主要技术要求如下；

①一体式工作机台：包含涂胶，烘烤，光刻，显影，光刻效果高倍显微视觉检查和光栅常数测量功能；

②光刻精度3~5μm；

③涂胶系统：转速可调。软件控制转盘具备匀胶和甩胶2个转速，匀胶500-1000转/分钟，1-60秒可设。 甩胶转速1000-5000转/分可调，1-300秒可设；

④烘烤系统：烤盘采用H62材质，直径95mm，可加热温度40℃ - 120℃，可恒温保持，具有烘烤计时功能，具有安全自关闭功能。

合同履行期限：详见采购文件

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

专门面向中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。

3.本项目的特定资格要求：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照复印件）。（2）投标供应商须提供法定代表人授权书原件、法定代表人身份证复印件、授权代表身份证复印件和授权代表在公司内近3个月内的社保缴纳证明（如果是法定代表人直接参与投标的可以不提供授权书）。

三、**

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联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com