原公告的采购项目编号：OITC-G250570563 　　　　　　

原公告的采购项目名称：中国科学院半导体研究所高精度贴片打线耦合系统采购项目 　　　　　　

首次公告日期：2025年12月02日　　　　　　

二、更正信息

更正事项：采购文件

更正内容：

招标文件“第八部分采购需求”中“包号3（自动耦合设备）（一）技术要求”作如下更正：

（1）3.1.5耦合圆心共点结构  更正为：3.1.5 X*Y*Z行程：25*25*25mm；

（2）#3.1.6 XYZ线性轴每轴行程不小于±12.5 mm，双向重复性≤ 0.14 μm，最小步距≤ 0.01 μm，最大速度25 mm/s，移动角偏摆≤ 100 urad  更正为：3.1.6对准精度:±50nm，双向重复精度：±50nm

（3）3.1.9角度电控微调台，组成输入端、输出端的θX、θY、θZ三轴耦合，输入端、输出端的旋转中心各为一点, θX、θY角度调节范围为不小于± 6°，θX、最小步距≤ 0.003°θZ角度调节范围为不小于270°，最小步距≤ 0.003°  更正为：3.1.9 θX角度移动量:±6º，角度精度:  θX≤0.002º

更正日期：2025年12月03日　

三、其他补充事宜

无

四、凡对本次公告内容提出询问，**

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联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com