原公告的采购项目编号：ZKGSF(ZB)-20251131
原公告的采购项目名称：6/4"晶圆匀胶显影机
首次公告日期：2025年07月14日
二、更正信息
更正事项：采购文件
更正内容：
原招标文件：
1、提交投标文件截止时间：2025年08月04日 14点00分；开标时间：2025年08月04日 14点00分
2、第五章 采购需求一览表及要求 三、技术要求 4. 各部品技术要求
4.1 主机：
#4.1.1 封闭式主机，用于提升小环境洁净度；
4.1.2 配备屏幕显示器，由计算机进行工艺参数设定，具有专用控制软件。软件具有工艺参数设置、设备控制、硬件自我故障诊断与检测功能，触摸屏控制操作方便快捷。
4.2 匀胶系统：
★4.2.1 最大转速：≥5000RPM；
4.2.2 最大加速度：≥20000RPM/s；
★4.2.3 转速精度：±1RPM；
#4.2.4 滴胶范围和精度：0.8～8ml±0.2ml；
#4.2.5 背面清洗：背面距离边缘≥10mm无残留；
4.2.6 夹持方式：真空吸附；
4.2.7 具备胶嘴自动清洗功能；
4.2.8 承片台具备正反转功能。
4.3 显影系统：
★4.3.1 最大转速：≥4000RPM；
4.3.2 最大加速度：≥8000RPM/s；
★4.3.3 转速精度：±1RPM
#4.3.4 流量控制：0～0.5L/min；
4.3.5 流量控制精度：±0.1L/min；
4.3.6 夹持方式：真空吸附。
4.4 自动传送系统：
#4.4.1 重复定位精度：±0.1mm；
#4.4.2 对中精度：±0.2mm；
4.4.3 取片方式：真空吸附。
4.5 加热烘烤系统：
★4.5.1 热盘数量：≥2；
★4.5.2 温度控制范围：50℃～180℃；
#4.5.3 温度控制均匀性：±1℃；
4.5.4 冷却方式：自然冷却。
4.6 片盒：片盒位置≥2个位置。
4.7 化学品柜：配备单独化学品柜，用于放置光刻胶、显影液等化学品。
现更正为：
1、提交投标文件截止时间：2025年8月12日 14点00分；开标时间：2025年8月12日 14点00分。
2、第五章 采购需求一览表及要求 三、技术要求 4. 各部品技术要求
4.1 主机：
#4.1.1 封闭式主机，用于提升小环境洁净度；
4.1.2 配备屏幕显示器，由计算机进行工艺参数设定，具有专用控制软件。软件具有工艺参数设置、设备控制、硬件自我故障诊断与检测功能，触摸屏控制操作方便快捷。
4.2 匀胶系统：
★4.2.1 最大转速：≥5000RPM；
4.2.2 最大加速度：≥20000RPM/s；
★4.2.3 转速精度：±1RPM；
#4.2.4 滴胶范围和精度：1～4ml±0.1ml；
#4.2.5 背面清洗：背面距离边缘≥10mm无残留；
4.2.6 夹持方式：真空吸附；
4.2.7 具备胶嘴自动清洗功能；
4.2.8 承片台具备正反转功能；
#4.2.9 光刻胶管路数量≥2，可满足不同粘度光刻胶使用需求：胶路1适配低粘度光刻胶，适配范围1～200cp；胶路2适配高粘度光刻胶，适配范围200～1500cp；
4.2.10 光刻胶溶剂（solvent）采用单压力罐供液，压力罐容积≥8L；具备过滤功能，过滤精度≤0.2μm。
4.3 显影系统：
★4.3.1 最大转速：≥4000RPM；
4.3.2 最大加速度：≥8000RPM/s；
★4.3.3 转速精度：±1RPM
#4.3.4 流量控制：0～0.4L/min或更大范围；
4.3.5 流量控制精度：±0.1L/min；
4.3.6 夹持方式：真空吸附；
#4.3.7 管路数量≥2，应包含一路碱性显影液，一路去离子水；
4.3.8 碱性显影液采用单压力罐供液，压力罐容积≥8L；具备过滤功能，过滤精度≤0.2μm;
4.3.9 去离子水由采购人提供，去离子水管路应具备过滤功能，过滤精度≤0.2μm。
4.4 自动传送系统：
#4.4.1 重复定位精度：±0.1mm；
#4.4.2 对中精度：±0.2mm；
4.4.3 取片方式：真空吸附。
4.5 加热烘烤系统：
★4.5.1 热盘数量：≥2；
★4.5.2 温度控制范围：50℃～180℃；
#4.5.3 温度控制均匀性：50℃～120℃±0.8℃；120.1℃～180℃±1.5℃；
4.5.4 冷却方式：自然冷却；
4.5.5 单独配置HMDS（六甲基二硅氮烷）热盘，数量≥1，温度控制范围50℃～150℃，温度控制均匀性50℃～120℃±0.8℃、120.1℃～150℃±1.5℃。
4.6 冷盘：
★4.6.1 冷盘数量：≥2；
4.6.2 温度控制范围：20℃～28℃；
4.6.3 温度控制均匀性：±0.2℃。
4.7 片盒：片盒位置≥2个位置。
4.8 化学品柜：配备单独化学品柜，用于放置光刻胶、显影液等化学品；若机台能够装下使用所需的胶路与胶瓶，可不配备化学品柜。
4.9 视频监控模块：匀胶、显影等腔体以及传输机器人处，应配备视频监控模块，视频数据可保存30天或以上。
#4.10 根据工艺需求的预留空间，设备占地面积应≤1600mm×1200mm；根据层高及消防要求，设备高度应≤2500mm。
四、商务条件及其他要求
3.3 验收标准：
3.3.1 涂胶均匀性：1μm厚时均匀性≤1%，3μm厚时均匀性≤1.5%；
3.3.2 显影均匀性：图案线宽为1μm时，均匀性≤3%；
3.3.3 传片稳定性：5000片晶圆连续传片无设备非正常报警；
3.3.4 碎片率：0.01%；
3.3.5 对符合工艺标准的试剂和去离子水，过滤后0.2μm以上的颗粒增量≤20颗。
更正日期：2025年07月28日
三、其他补充事宜
本更正公告作为招标文件的组成部分之一，对各相关投标人均具有同等约束力，与招标文件不一致的部分以本公告为准。本公告一经发布，视为投标人已收到。
四、凡对本次公告内容提出询问，**
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