原公告的采购项目编号:OITC-G250DY0036
原公告的采购项目名称:松山湖材料实验室ICP刻蚀设备采购项目
首次公告日期:2025年07月11日
二、更正信息:
更正事项:采购公告与采购文件
更正内容:
原公告的投标文件提交截止时间:2025-08-01 14:30:00,更正为:2025-08-07 14:30:00。
原公告的开标时间:2025-08-01 14:30:00,更正为:2025-08-07 14:30:00。
原公告的开标地点:东莞市南城街道西平社区宏伟三路45号东莞市公共资源交易中心开标室(5),更正为:东莞市南城街道西平社区宏伟三路45号东莞市公共资源交易中心开标室(13)。
第二章《附表一:ICP刻蚀设备》中第16条技术指标“气路输送系统:提供8路工艺气体Ar/O2/He/N2/SF6/CF4/ CHF4/C4F8,流量可调;Gasbox漏气率 < 0.5 mTorr/min”
更正为:“气路输送系统:提供8路工艺气体Ar/O2/He/N2/SF6/CF4/CHF3/C4F8,流量可调;Gasbox 漏气率 < 0.5 mTorr/min”,请获取最新的招标文件。
其他内容不变
更正日期:2025年07月22日
三、其他补充事项
1.更正公告为原采购公告、原采购文件不可分割的部分,原采购公告、原采购文件相应条款与本公告有不一致之处,以本公告为准。请供应商务必按照更正后的内容编制投标/响应文件,本公告发布,视同书面通知所有潜在供应商。
无