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松山湖材料实验室ICP刻蚀设备采购项目采购更正公告
*一、项目基本情况

原公告的采购项目编号:OITC-G250DY0036

原公告的采购项目名称:松山湖材料实验室ICP刻蚀设备采购项目

首次公告日期:2025年07月11日

二、更正信息:

更正事项:采购公告与采购文件

更正原因:
更正技术指标、开标时间及开标地点

更正内容:

原公告的投标文件提交截止时间:2025-08-01 14:30:00,更正为:2025-08-07 14:30:00。

原公告的开标时间:2025-08-01 14:30:00,更正为:2025-08-07 14:30:00。

原公告的开标地点:东莞市南城街道西平社区宏伟三路45号东莞市公共资源交易中心开标室(5),更正为:东莞市南城街道西平社区宏伟三路45号东莞市公共资源交易中心开标室(13)。

第二章《附表一:ICP刻蚀设备》中第16条技术指标“气路输送系统:提供8路工艺气体Ar/O2/He/N2/SF6/CF4/ CHF4/C4F8,流量可调;Gasbox漏气率 < 0.5 mTorr/min”

更正为:“气路输送系统:提供8路工艺气体Ar/O2/He/N2/SF6/CF4/CHF3/C4F8,流量可调;Gasbox 漏气率 < 0.5 mTorr/min”,请获取最新的招标文件。

其他内容不变

更正日期:2025年07月22日

三、其他补充事项

1.更正公告为原采购公告、原采购文件不可分割的部分,原采购公告、原采购文件相应条款与本公告有不一致之处,以本公告为准。请供应商务必按照更正后的内容编制投标/响应文件,本公告发布,视同书面通知所有潜在供应商。

四、凡对本次公告内容提出询问,**

本招标项目仅供正式会员查阅,您的权限不能浏览详细信息,请点击 登录 注册 ,联系工作人员办理会员入网事宜,成为正式会员后方可获取详细的招标公告、报名表格、项目附件及部分项目招标文件等。

联系人:张晟

手 机:13621182864

邮 箱:zhangsheng@zgdlyzc.com


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