*一、项目基本情况

项目编号：0664-2540SUMECZF115

项目名称：东南大学电子科学与工程学院HF气体刻蚀机采购

预算金额：500.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：486.000000 万元（人民币）

采购需求：

1.能处理的硅片最大尺寸为8英寸(200mm) ，同时向下兼容小尺寸和碎片样品。

2.片内均匀性：< 12% (R/2x)，在100 Å/min刻蚀条件下；

测试工艺条件与计算方法：

测试片：8英寸衬底、带2μm或以上厚度热氧化硅薄膜

3.片间重复性：< 12% (R/2x)；

测试工艺条件与计算方法：

测试片：8英寸衬底、带2μm或以上厚度热氧化硅薄膜

均匀性 = (最快–最慢) / (2*平均值) *100%

本项目接受进口产品。

本项目所属行业：工业。

本项目(非专门)面向中小企业采购。

本项目(非专门)面向监狱企业采购。

本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。

最高限价：486万元（境内外产品最高限价均为此限价，其中境外产品不含外贸代理费），超过最高限价的为无效投标文件

项目编号：0664-2540SUMECZF115（SEU-ZB-250494）

合同履行期限：境外产品：开具信用证后300天内设备安装调试合格。境内产品：合同签订后300天内设备安装调试合格。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：（1）如为进口产品，需提供有效的产品授权书。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。

三、**

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联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com