*一、项目基本情况

项目编号：SEU-ZB-250490

项目名称：东南大学集成电路学院Parylene沉积设备采购

预算金额：50.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：50.000000 万元（人民币）

采购需求：

交付地点：东南大学无锡校区，设备的搬运、安装调试等不另行付费。

项目概况：集成电路学院采购Parylene沉积设备1套，主要技术要求如下：

（1）设备用途：在各类衬底上沉积Parylene薄膜，对晶圆进行钝化。

（2）腔体尺寸不小于12*12英寸。

（3）蒸发室的最高蒸发温度≥ 210℃。

（4）蒸发室的蒸发速度稳定可控，控温精度±1℃。

合同履行期限：合同签订后4个月内设备安装调试合格

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：无

三、**

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联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com