青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室设备采购项目集中招标
招标公告
黄河水电物资有限公司受招标人委托，就对下述标段进行公开招标。
1.招标条件
项目名称：青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿电池研发平台建设项目磁控溅射设备采购项目
招标项目编号：DNYZC-2025-11-26-029-01
招标项目名称：青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿电池研发平台建设项目激光设备采购项目
招标项目编号：DNYZC-2025-11-26-029-02
招标项目名称：青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿电池研发平台建设项目狭缝涂布及附属设备采购项目
招标项目编号：DNYZC-2025-11-26-029-03
招标项目名称：青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿电池研发平台建设项目真空蒸镀设备采购项目
招标项目编号：DNYZC-2025-11-26-029-04
招标人：国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司
招标代理机构：黄河水电物资有限公司
项目业主：青海黄河上游水电开发有限责任公司
立项情况：已立项
项目资金来源：资金由项目业主负责，现已落实到位
项目已具备招标条件，现进行公开招标
黄河水电物资有限公司受招标人委托，就对下述标段进行公开招标。
2.项目概况与招标范围
2.1项目概况
详见招标文件。
2.2招标范围
| 序号 |
标段名称 青海黄河上游水 |
招标范围 招标范围 |
工期要求 |
交货地点 |
信息服务费 （元） |
| 电开发有限责任 （1)主要设备：采购真空蒸镀设备1套，主要包括基片装置、蒸发沉积系 公司太阳能电池 统、真空系统、膜厚监控系统、电气控制系统及水冷系统等，同时包含设 备所必须的安装附件及辅助设备、随机文件、技术资料（包括操作手册、 使用指南、维修指南或服务手册），负责运输、安装、调试、检验、验收 并提供相应的技术服务与质量保证、售后服务、技术培训等。 |
|
| 及组件研发实验 室钙钛矿电池研 发平台建设项目 购项目 1-26-029-01 1 |
磁控溅射设备采 DNYZC-2025-1 |
（2)备品备件：掩膜版、钨舟、钼舟、石英增蜗、晶振片、CF35铜垫圈、 匹配设备规格的密封圈等； （3)专用工器具：拆卸、安装、检修设备时专用的工器具1套（包含外六 方扳手、内六方扳手、螺丝刀、扳手等工具）。 构成设备的任何部件、组件和装置如果在本供货范围及工作内容中没有提 到，但对该设备的安全可靠运行是必需的，也应包括在供货范围及工作内 |
合同签订生效后 120日内整批交货 |
本项目位于陕西 长安安 |
300 |
| 容之内。 2.3主要配置及技术参数 |
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| 1.1 |
术要求 |
|
备注 |
| 1.1.1 |
真空镀膜室 材料及结 |
真空室采用304不锈钢，腔体内壁电解抛光 处理，减少表放；须保留前后门，便于 |
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| 1.1.2 |
构 |
对腔体内部进行维护 由保护玻璃、硬质玻璃组合而成，需符合X |
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| 1.1.3 |
观察窗 腔体漏率 |
射线防护国家标准 漏率优于5.0×10-10Pa.m3/S，保压12小时 |
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| 1.2 |
蒸镀真空系统 |
后，压强≤5Pa。 |
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1.2.1 |
极限真空 |
系统洁净、空置时优于5×10-5pa |
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|
度 |
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1.2.2 1.2.3 |
分子泵 |
抽气速率不小于3000L/s |
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|
机械泵 |
真空测量 |
抽气速率不小于25m3/h 大气环境万级洁净间氛围下从常压抽至≤5 |
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1.2.4 |
时间 |
×10-4pa时间≤30min； |
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|
| 1.2.4 |
极限真空 测量 |
测量范围从1×105Pa到5.0×10-5Pa |
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| 1.3 |
1.2.4 真空密封 |
采用金属密封和氟橡胶圈密封 蒸发室基片装置 |
| 1.3.1 |
基片材料 |
导电玻璃 |
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1.3.2 |
样品尺寸 |
400mm×400mm的样品且可向下兼容更 多尺寸 |
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1.3.3 |
基片托盘 |
通过电机旋转0~30rpm可调 |
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1.4 |
蒸发源和蒸发电源 |
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|
1.4.1 蒸发源 |
|
配备2组金属蒸发源和4组有机蒸发源，可 兼容蒸镀金属、有机及无机材料；源与源之 间均配有防止交叉污染的防污板 |
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| 1.4.2 |
金属蒸发 电源 |
|
配备可编程的直流稳压金属蒸发电源1套， 金属蒸发电源功率≥1.5KW及以上，最高 升温温度可达1500℃，且通过电流控制方 式，精确到0.1A，并实现蒸镀速率0.01A/s 的精度显示，可进行电流、电压模式的任意 |
|
| 1.4.3 |
有机蒸发 电源 |
切换和具有水冷控制 |
配备有机蒸发电源1套；可通过电流或PID 智能温控方式进行控制（采用电流控制方式 时需精确到0.1A，并实现蒸镀速率0.01A/s 的精度显示，可进行电流、电压模式的任意 |
|
| 1.4.4 |
控制系统 |
|
切换和具有水冷控制；采用PID 智能温控方 式时控温精度±1℃）； 采用PLC+PC控制方式 |
|
|
|
1.4.5 |
安全保护 措施 |
缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温 度检测与保护、真空系统检测与保护。对泵、 电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进 |
|
|
|
行报警并执行相应保护措施；完善的程序互 锁，完备的防误操作设计及保护。 |
|
| 1.5 1.5.1 |
膜厚监测系统 膜厚仪 |
不少于1组膜厚仪，不少于2套膜厚检测探 头 |
|
| 1.5.2 |
蒸发速率 测量精度 |
0.1~0.5A/s(≤±10%)，0.6~10.0A/s(≤±5%) |
|
| 1.5.3 |
膜厚仪测 量精度 |
膜厚仪测量精度优于±0.01A/s，若镀膜达到 设置厚度，可自动切断电源，停止镀膜且挡 板关闭 |
|
| 1.5.4 |
温度控制 精度 |
±1℃(RT~700℃) |
|
| 1.5.5 |
厚度测量 精度 |
优于±1A；具备与电源联锁功能 ≤5.0%（样品尺寸400mm×400mm，且在 |
|
| 1.5.6 |
片内膜厚 不均匀性 |
20nm～100nm范围内的薄膜材料：包括但 不限于金、银、铜、铝、C60、BCP、LiF2、 MgF2等材料，且由招标方指定材料进行验 证），测试方法：薄膜有效区范围内3×3 排列9点测量：不均匀性=（膜厚最大值- 膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值) *100% ≤5.0%（样品尺寸400mm×400mm，且在 |
|
| 1.5.7 |
片间膜厚 |
20 nm～100nm范围内的薄膜材料：包括但 不限于金、银、铜、铝、C60、BCP、LiF2、 |
|
|
不均匀性 |
MgF2等材料，且由招标方指定材料进行验 证），测试方法：薄膜有效区范围内3×3 排列9点测量：不均匀性=（膜厚最大值- 膜厚最小值）／(膜厚最大值+膜厚最小值) *100%。 |
|
|
|
1.6 |
自动镀膜 系统 |
开启后根据用户设置的升降温和蒸发速率 参数，自动升温加热蒸发材料，按照制定速 率蒸镀，到达设定厚度后自动关闭挡板，并 |
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|
|
|
| 1.7 |
降温 水冷系统 |
|
|
| 1.7.1 |
冷水机 |
控温范围：5℃~30℃ |
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| 1.8 |
工艺支持 |
投标人提供C60和BCP作为钙钛矿器件电 子传输层的蒸镀工艺，保证招标方在其他薄 膜层制备条件不变时采用该工艺制备电子 传输层的钙钛矿太阳能电池性能不低于招 标方使用旋涂法制备PCBM和BCP作为电 子传输层的性能。 |
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| 目 2 |
青海黄河上游水 电开发有限责任 公司太阳能电池 的除尘器、水冷机、金相显微镜模块以及设备所必须的安装附件及辅助设 及组件研发实验 备、随机文件、技术资料(包括操作手册、使用指南、维修指南或服务手 室钙钛矿电池研 发平台建设项目 激光设备采购项 DNYZC-2025-1 1-26-029-02 |
注：其他未列入本表的参数应能满足设备整体工艺安全运行性能，并符合 设备配置参数及国家标准 招标范围 （1)采购1台双路激光划线清边设备，包括双路激光划线清边设备、配套 |
交货期：合同签 订生效后90日 本项目位于陕西 内整批交货（包 省西安长安航天 含备件及工具） 基地东长安街 |
|
300 |
| 册)，负责运输、安装、调试、检验、验收并提供相应的技术服务与质量保 证、售后服务、技术培训等。 （2）专用工器具：激光功率测试仪、绝缘测试仪、万用表。 （3）易耗件：水冷机滤芯、除尘滤芯 （4)构成设备的任何部件、组件和装置如果在本供货范围及工作内容中没 有提到，但对该设备的安全可靠运行是必需的，也应包括在供货范围及工 |
|
|
作内容之内。 |
2.3主要配置及技术参数： 2.3.1双路激光划线清边设备主要配置 |
|
|
五章供货要求 |
（详见第二卷第 589号 |
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| 序号 |
|
性能指标 |
要求参数值 |
备注 |
| 1 1.1 |
|
总体要求 |
一 |
|
|
|
加工幅面 |
|
50mm*50mm~400mm*400mm，可根 据片源大小进行调节 |
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1.2 |
可加工 |
0~40mm，软件中输入基材厚度后，设 |
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| 1.3 |
主体结构 |
直射人眼 |
焊接钢结构+大理石基座，整机设备外光 路采用全密封设计并配置观察窗口，避免 |
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|
| 2 |
纳红外 |
|
/ |
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| 2.1 |
|
激光类型 |
1064 nm 纳秒红外； |
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|
| 2.2 |
|
激光器功 激光器功 |
100W，软件内可设置 |
|
|
|
|
| 2.3 |
|
率波动稳 定性 |
<5%RMS |
|
|
|
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| 2.4 |
|
激光器可 调频率范 围 |
不低于（1～1000）kHz |
|
|
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|
2.5 |
激光器脉 宽范围 |
不小于20ns～200ns，软件内可设置 |
|
|
|
|
|
2.6 |
光束质量 M2 |
≤1.5 |
|
|
|
|
|
2.7 |
最小划线 |
20um～30um |
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|
|
|
|
2.8 |
最小划线 |
20um~30um |
|
|
|
|
|
2.9 |
热影响区 |
单侧≤5um |
|
|
|
|
|
2.10 |
清边宽度 |
≥10mm |
|
|
|
|
|
2.11 |
清边时间 绝缘电阻 |
<11min（边长400mm，宽度10mm） 划线后>2MΩ、清边后>100MΩ |
|
|
|
|
|
2.12 |
光斑整形 |
配置适用于本设备红外激光系统易拆卸 光学附件，具备将圆形光斑整形为方形光 |
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|
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2.13 |
皮秒紫外 |
斑及将高斯光斑整形成平顶光斑的功能 |
|
|
|
|
|
3 |
激光系统 |
/ |
|
|
|
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|
3.1 |
激光类型 |
355nm皮秒紫外 |
|
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|
|
激光器功 3.2 率 激光器功 |
≥15W，软件内可设置 |
|
|
|
|
| 3.3 |
|
率波动稳 定性 |
<3%RMS |
|
| 3.4 |
|
激光器可 调频率范 |
不低于（1～1000）kHz |
|
| 3.5 |
围 激光器脉 |
<15ps |
|
|
| 3.6 |
光束质量 |
<1.3 |
|
|
|
最小划线 3.7 宽度 |
20um～30um |
|
|
最小划线 3.8 间距 |
20um～30um |
|
| 3.9 |
热影响区 |
单侧≤10um |
|
| 3.10 |
光斑整形 |
配置适用于本设备紫外激光系统易拆卸 光学附件，具备将圆形光斑整形为方形光 |
|
| 4 |
加工平台 |
斑及将高斯光斑整形成平顶光斑的功能 / |
|
| 4.1 |
电机配置 |
X轴及轴用直线电机驱动路激光 |
|
|
4.2 |
平台尺寸 |
可加工最大400mm×400mm尺寸基材， 固定方式为真空吸附，台面采用非铝合金 |
|
|
|
轴度位 |
耐高温材质 ≤±3μm |
|
|
4.3 4.4 |
XY轴重复 |
≤±3um |
|
|
定位精度 |
|
≥1000mm/s |
|
| 4.5 4.6 |
|
|
≤±5μm |
|
|
|
Z轴精度 |
|
|
|
|
4.7 |
划线平行 |
≤±10um/m |
|
|
|
|
|
4.8 轨迹编辑 |
划刻路径可软件内编辑、可用CAD文件导 入、可设置某段路径激光的开关，能存储 20个以上工艺方案 |
|
|
|
|
|
5 |
影像定位 系统 |
/ |
|
5.1 CCD像素 |
≥500万 |
|
|
CCD定位 5.2 精度 |
≤±2μm |
|
|
6 抽尘机 |
/ |
|
| 6.1 |
总要求 |
激光加工过程中同步吸尘 配有多级过滤系统，除尘效率≥99.9% |
|
| 6.2 |
除尘效果 |
(0.1～1μm灰尘颗粒) |
|
| 6.3 |
尾气 |
可直接接入厂务热排风系统 |
|
| 7 |
金相显微 镜模块 |
/ 5孔物镜转盘，物镜倍数为5X、10X、 |
|
|
7.1 |
放大倍数 |
20X、50X、100X，双目镜倍数10X，瞳距 可调 尺寸不小于150mm×120mm，移动范围 不小于70mm×50mm，额外配备支架以 |
|
| 3 |
青海黄河上游水 电开发有限责任 公司太阳能电池 及组件研发实验 室钙钛矿电池研 发平台建设项目 狭缝涂布及附属 设备C-2项25-1 1-26-029-03 |
7.2 载物台 保证大尺寸工件平稳放置 招标范围 |
合同签订后4个月 内完成设备到货， 并在两周内完成设 备的调试。 589号 有提到，但对该设备的安全可靠运行是必需的，也应包括在供货范围及工 |
本项目位于陕西 省西安长安航天 基地东长安街 |
300 |
| （1）主要设备：狭缝涂布设备1台 附属设备：真空制晶设备1台、退火设备1台。 备品备件：气管、液管、管路接头、玻璃供液罐、垫片。 专用工具：扭力扳手、公制内六角扳手、大理石平尺、硅片取放 |
| 料工具、油石。 (2)随机文件、技术资料（包括操作手册、使用指南、维修指南或服务手 供货、负责设计、、现场试验、包式工厂试，出提试验、接术服务与 质量保证、售后服务、技术培训等。 （3)构成设备的任何部件、组件和装置如果在本供货范围及工作内容中没 |
|
2.3主要配置及技术参数： 2.3.1狭缝涂布设备技术参数 |
|
|
| 序 号 |
性能指标名称 |
要求参数值 |
| 1 |
适用基材 |
透明导电玻璃、硅片等基材 |
| 2 |
适用基材尺寸 |
玻璃≥400 mm×400 mm，硅片≥166 mm×166mm |
| 3 |
涂膜面积 |
玻璃有效涂膜面积≥380×380mm，硅片需满涂 |
| 4 |
固含量 |
5-75% |
| 5 |
适用基材厚度 |
玻：1.1-3.3m |
|
6 涂布厚度 |
0.1-10μm（干膜） |
|
| 7 8 |
涂布速度 涂布方式 |
0-100mm/s，速度可调，速度精度0.1mm/s 狭缝涂布 |
|
|
|
|
片内薄膜不均度≤5%（采用9点测试法，以上、下、 左、右、中心9点为测量基准，计算方式为 |
|
|
|
9 薄膜均匀性 |
背面无污染。（设备连续工作10个工作日均满足） |
Ui=(Umax-Umin)(Umax+Umin)，U为膜厚），片间薄膜不均 匀度≤3%（计算方式为 U=(Uavgmax-Uavgmin)/(Uavgmax+Uavgmin），U为膜厚），玻璃 |
|
|
10 |
适用溶剂体系 设备配备双龙 |
水性、油性、有机溶剂等溶剂型涂料 |
|
|
11 |
门 |
每套龙门各配一套模头、一套供液系统 设备可通过更换“吸附平台、模头”等组件的方式，切 |
|
|
12 |
涂硅片 |
换为涂覆硅片的设备。所需的吸附平台及模头由厂家配 齐 |
|
| 13 |
硅片取放 |
设备配备顶升装置，便于取放硅片 |
|
|
| 14 |
预涂功能 |
|
设备配备预涂区域或预涂辊 |
|
| 15 |
|
平移系统 |
保证龙门或吸附平台的平行移动，调平后刀头与平台的 |
|
|
16 |
涂布模头 |
采用流体仿真设计涂布模头，刀头直线度（R）≤3um， 粗糙度Ra≤0.025；唇口直线度（R）≤3μm，提供第三 |
|
|
| 17 |
模头数量配置 |
方专业检测报告 涂玻璃模头配备2个，涂硅片模头配备1个 |
|
| 18 |
涂布模头材质 |
不锈钢合金，具有良好的耐腐蚀性能，可拆卸清洗，防 形变 模头升降采用高精度伺服电机方式驱动；可自动调整唇 □与被涂基材的间隙。涂膜高度依基板厚度自动调节， |
|
| 19 |
模头升降 |
可手动设置补偿功能。左右两侧可自动调平（调节模头 唇口与被涂基板的平行度），自动调平后，狭缝模头水 平校准误差精度≤±2μm |
|
| 20 |
垫片厚度 |
0.05/0.08/0.1mm 涂布模头具有防撞、快速充液和排泡功能（快速充液和 排泡功能满足对供液泵、模头及管路进行充液和排泡。 |
|
| 21 |
功能模块 |
从空模头、空浆料罐状态到可进行涂膜状态之间间隔不 得超过10min） |
|
| 22 |
基台及材质 |
整机携有大理石承重减震基底平台 每次涂膜前，可自动检测当前基板高度（厚度），同一 |
|
| 23 24 |
基材测距 注液泵 |
片基板高度（厚度）检测误差≤3μm 注液泵应能保证浆料挤出均匀连续，确保涂膜一致性， 其速度精度优于0.1μl/s；供液速度在1-500μl/s，速度可 |
|
| 25 |
自动清洗模块 |
调；具备自动补液、补液后自动泄压及回吸功能 设备具备自动清洗模头功能，自动清洗后，必须保证无 药液残留，管路及型腔内部无明显液体凝聚现象；设置 |
|
|
|
模头清洗区域，配备压刀槽和排液槽，配合上述自动清 洗功能和快速充液、排泡功能 表面平整度≤±5μm，平台集成真空吸附系统，大小可 |
|
| 26 27 |
吸附平台 储液罐及管路 |
调 需采用耐腐蚀材料，液体管路需使用半透明材质 |
|
| 28 |
质量保证 |
涂布过程中，需要通过程序实时控制注液情况，以确保 |
|
|
|
在涂布前端及涂布结束后，不能出现涂布头滴液情况 |
|
|
29 防尘和尾废 |
设备配备防尘罩及FFU过滤系统，内部洁净度保证在千 级；配备三色灯及挥发溶剂排风口；机台具有防液体泼 洒特性，避免浆料侵入设备内部，损坏内部关键元器件 |
|
|
|
30 模头拆装平台 |
需设计模头拆装平台，调平后的平台平整度≤10um。此 外，需要配备专用刀头分解和内部清洗工装及工具，确 |
|
|
| 31 |
控制方式 |
高清触摸屏控制，带有配方存储功能，可保存20组以上 成熟的工艺参数；可设置各系统功能的启停、运动轴参 |
| 2.3.2真空制晶设备技术参数 |
数；操作方便简单 |
|
| 序 号 |
性能指标名称 |
要求参数值 |
| 1 |
适用基材 |
透明导电玻璃、硅片等基材 |
| 2 |
适用基材尺寸 |
玻璃≥400mm×400mm，硅片≥166mm×166mm |
| 3 |
抽气速率 |
大气压至10pa：t≤10s，抽真空速度可调；最低可抽至 |
| 4 |
破真空 破真空使用气 |
破真空时间需控制在3-10s |
| 5 |
体 |
氮气或者压缩空气 进口或同等级国产一流品牌干泵，真空泵开启可在控制 |
| 6 |
真空泵 |
台操作 |
| 7 |
水冷机 |
设备自带用于给真空泵冷却的水冷机 双真空计或双量程真空计，用以检测大气压至低压，并 |
| 8 |
真空计 |
在低压区域的量程保证一定精度 |
| 9 |
抽气方式 |
上抽式设计，需配备匀流板，减弱膜面气流扰动 高清触摸屏控制（或显示器+键盘+鼠标）；可设置VCD |
| 10 |
控制方式 |
的快慢抽时间、保压时间等参数；工艺参数可分别编号 存储和导出，具备工艺历史记录查看功能 |
| 11 |
安全装置 |
防止过高真空造成设备损坏，设有自动压力调节与安全 阀功能 |
|
|
12 功能配置 |
配有防倒吸，废气收集或过滤系统、破空过滤系统、压 |
力侦测系统；需额外预留一个真空泵接口 |
|
| 2.3.3退火设备技术参数 |
|
|
序 性能指标名称 号 |
要求参数值 |
|
1 适用基材 |
透明导电玻璃、硅片等基材 |
|
2 适用基材尺寸 |
≥400mm×400mm，可向下兼容 |
| 3 |
加热温度范围 |
室温~250℃ |
| 4 |
加热器件 |
设定3个基材工艺腔体，腔体温度独立控制，腔体单独进 料与出料，每个腔体上下两个加热器 |
| 5 |
升温速率 |
升温速率可调，≥25℃/min |
| 6 |
温度精度 |
±1℃ |
| 7 |
温度均匀性 |
±3℃（采用9点测试法，将9个热电偶贴在基材上，以 上、下、左、右、中心9点为测量基准，进行温度均匀性 测试） |
| 8 |
尾气 |
工艺过程中能有效均匀排出挥发的有机废气，排气速率可 调 |
| 9 10 |
保护气体 |
设备可接入氮气保护气体，配有预热腔，确保保护气体充 分预热 |
|
青海黄河上游水 招标范围 电开发有限责任 公司太阳能电池 及组件研发实验 |
随机工具 附带取放料工具，避免烫伤 （1)主要设备：采购真空蒸镀设备1套，主要包括基片装置、蒸发沉积系 统、真空系统、膜厚监控系统、电气控制系统及水冷系统等，同时包含设 备所必须的安装附件及辅助设备、随机文件、技术资料（包括操作手册、 使用指南、维修指南或服务手册），负责运输、安装、调试、检验、验收 |
合同签订生效后 90日内整批交货 （包含备件及工 具）（详见第二 卷第五章供货要 |
本项目位于陕西 |
|
| 4 |
室钙钛矿电池研 发平台建设项目 真空蒸镀设备采 购项目 DNYZC-2025-1 1-26-029-04 |
并提供相应的技术服务与质量保证、售后服务、技术培训等。 （2)备品备件：掩膜版、钨舟、钼舟、石英坩埚、晶振片、CF35铜垫圈、 匹配设备规格的密封圈等； 求） （3)专用工器具：拆卸、安装、检修设备时专用的工器具1套（包含外六 方扳手、内六方扳手、螺丝刀、扳手等工具）。 |
省西安长安航天 基地东长安街 589号 |
300 |
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构成设备的任何部件、组件和装置如果在本供货范围及工作内容中没有提 到，但对该设备的安全可靠运行是必需的，也应包括在供货范围及工作内 容之内。 |
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| 2.3主要配置及技术参数 |
2.3.1真空蒸镀设备主要配置 性能指标 |
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| 序号 1.1 |
名称 |
技术要求 |
备注 |
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真空镀膜室 材料及结 |
真空室采用304不锈钢，腔体内壁电解抛 光处理，减少表放；须保留前后门， |
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| 1.1.1 |
构 |
便于对腔体内部进行维护 由保护玻璃、硬质玻璃组合而成，需符合X |
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| 1.1.2 1.1.3 |
观察窗 腔体漏率 |
射线防护国家标准 漏率优于5.0x10-10Pa.m3/S，保压12小时 |
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| 1.2 |
蒸镀真空系统 |
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| 1.2.1 |
极限真空 |
系统洁净、空置时优于5×10-5pa |
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| 1.2.2 |
度 |
抽气速率不小于3000L/s |
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| 1.2.3 |
分子泵 机械泵 |
抽气速率不小于25m3/h |
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| 1.2.4 |
真空测量 时间 |
大气环境万级洁净间氛围下从常压抽至 ≤5×10-4pa时间≤30min; |
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| 1.2.4 |
极限真空 |
测量范围从1×105Pa到5.0×10-5Pa |
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| 1.2.4 |
测量 真空密封 |
采用金属密封和氟橡胶圈密封 |
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| 1.3 |
蒸发室基片装置 |
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| 1.3.1 |
基片材料 |
导电玻璃 |
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| 1.3.2 |
样品尺寸 |
400 mm×400mm的样品且可向下兼容更多 |
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| 1.3.3 |
基片托盘 |
尺寸 通过电机旋转0~30rpm可调 |
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蒸发源和蒸发电源 |
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| 1.4 |
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1.4.1 |
蒸发源 |
配备2组金属蒸发源和4组有机蒸发源， 可兼容蒸镀金属、有机及无机材料；源与 源之间均配有防止交叉污染的防污板 配备可编程的直流稳压金属蒸发电源1套， 金属蒸发电源功率≥1.5KW及以上，最高升 |
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| 1.4.2 |
金属蒸发 温温度可达1500℃，且通过电流控制方式， 电源 精确到0.1A，并实现蒸镀速率0.01A/s的 |
| 有机蒸发 1.4.3 |
精度显示，可进行电流、电压模式的任意 切换和具有水冷控制 配备有机蒸发电源1套；可通过电流或PID 智能温控方式进行控制（采用电流控制方 |
| 电源 1.4.4 控制系统 |
式时需精确到0.1A，并实现蒸镀速率 0.01A/s的精度显示，可进行电流、电压模 式的任意切换和具有水冷控制；采用 PID 智能温控方式时控温精度±1℃）； |
| 安全保护 |
采用PLC+PC控制方式 缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、 温度检测与保护、真空系统检测与保护。 对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异 |
| 1.4.5 措施 |
常情况进行报警并执行相应保护措施；完 善的程序互锁，完备的防误操作设计及保 |
| 1.5 膜厚监测系统 1.5.1 膜厚仪 |
护。 不少于1组膜厚仪，不少于2套膜厚检测 探头 |
| 蒸发速率 1.5.2 |
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| 测量精度 膜厚仪测 |
0.1~0.5A/s (≤±10%)，0.6~10.0A/s(≤±5%) 膜厚仪测量精度优于±0.01A/s，若镀膜达到 |
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| 1.5.3 量精度 |
设置厚度，可自动切断电源，停止镀膜且 |
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| 温度控制 1.5.4 精度 |
±1C (RT~700℃) |
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| 1.5.5 精度 |
厚度测量 优于±1A；具备与电源联锁功能 |
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1.5.6 |
片内膜厚 不均匀性 |
≤5.0%（样品尺寸400mm×400mm，且在 20nm～100nm范围内的薄膜材料：包括但 不限于金、银、铜、铝、C60、BCP、 LiF2、MgF2等材料，且由招标方指定材料 进行验证），测试方法：薄膜有效区范围 内3×3排列9点测量：不均匀性=（膜厚最 大值－膜厚最小值）／（膜厚最大值+膜厚最 小值）*100% |
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≤5.0%（样品尺寸400mm×400mm，且在 20nm～100nm范围内的薄膜材料：包括但 不限于金、银、铜、铝、C60、BCP、 LiF2、MgF2等材料，且由招标方指定材料 |
| 1.5.7 1.6 |
片间膜厚 不均匀性 自动镀膜 |
进行验证），测试方法：薄膜有效区范围 内3×3排列9点测量：不均匀性=（膜厚最 大值-膜厚最小值）／（膜厚最大值+膜厚最 小值）*100%。 开启后根据用户设置的升降温和蒸发速率 |
| 系统 1.7 |
并降温 水冷系统 |
参数，自动升温加热蒸发材料，按照制定 速率蒸镀，到达设定厚度后自动关闭挡板， |
| 1.7.1 冷水机 |
控温范围：5℃~30℃ |
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| 1.8 |
工艺支持 |
投标人提供C60 和BCP作为钙钛矿器件 电子传输层的蒸镀工艺，保证招标方在其 他薄膜层制备条件不变时采用该工艺制备 电子传输层的钙钛矿太阳能电池性能不低 于招标方使用旋涂法制备PCBM和BCP |
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| 注：其他未列入本表的参数应能满足设备整体工艺安全运行性能，并符合 设备配置参数及国家标准 |
注：以上为参考参数和数量，具体参数、数量及招标范围以招标文件相关内容为准。
3.投标人资格要求及业绩要求
| 序号 |
标段名称 |
资格要求及业绩要求 |
| 1 |
青海黄河上游水电开发有限 责任公司太阳能电池及组件 研发实验室钙钛矿电池研发 平台建设项目磁控溅射设备 采购项目 DNYZC-2025-11-26-029-01 |
投标人资格要求 投标人基本资格要求 （1）投标人具有独立订立合同的资格； （2）投标人经营状况良好，具有良好的资信和信用（以“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）网站查询为 准，没有被列入严重失信主体名单），没有处于会导致中标后无法履行合同的被责令停产停业、财产被接管、冻 结、破产状态； （3）财务状况及资信 近三年财务和资信状况良好。没有财产被接管、冻结或处于破产状态。应提供银行出具的资信证明、纳税人资格 证明。 (4）投标人近36个月内(含，自投标截止日起往前推算)不存在骗取中标、严重违约及因自身的责任而使任何合 同被解除的情形； （5）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位不得在同一标段投标； (6)投标人没有处于国家电力投资集团有限公司相关文件确认的禁止投标的范围和处罚期内；未被列入国家电力 投资集团有限公司供应商涉案“黑名单”。 专用资格条件 资质要求 投标人必须是在中华人民共和国市场监管部门注册的，具有独立法人和一般纳税人资格的磁控溅射设备制造企业 或代理企业。代理企业必须提供磁控溅射设备制造企业出具的有效授权书。同一货物/产品（同一品牌、同一型号) 只能有一家投标人，如为代理商投标，一个制造商对同一品牌、同一型号的货物，仅能委托一个代理商参加投标， 否则相关投标均做无效处理。 业绩要求 投标人应具有近3年内（自投标截止日起往前推算，以竣工验收时间为准）完成至少3台及以上磁控溅射设备供 |
| 2 |
青海黄河上游水电开发有限 责任公司太阳能电池及组件 研发实验室钙钛矿电池研发 平台建设项目激光设备采购 项目 DNYZC-2025-11-26-029-02 |
承包范围、签字页）、竣工证明（竣工验收证明或业主出具的证明文件或其他有效证明资料）】 投标人资格要求 投标人基本资格要求 （1）投标人具有独立订立合同的资格； （2）投标人经营状况良好，具有良好的资信和信用（以“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）网站查询为 准，没有被列入严重失信主体名单），没有处于会导致中标后无法履行合同的被责令停产停业、财产被接管、冻 结、破产状态； （3）财务状况及资信 近三年财务和资信状况良好。没有财产被接管、冻结或处于破产状态。应提供行出具的资信证明、纳税人资格证 明。 |
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业绩要求 投标人应具有近3年内（自投标截止日起往前推算，以竣工验收时间为准）完成至少3台同型号或相近技术规格 的双路或量产型激光划线清边设备加工幅面不小于1.2m*0.6m的钙钛矿产线设备供货合同业绩。【需提供合同复 印件（包括合同首页、承包范围、签字页）、竣工证明（竣工验收证明或业主出具的证明文件或其他有效证明资 |
(4）投标人近36个月内(含，自投标截止日起往前推算)不存在骗取中标、严重违约及因自身的责任而使任何合 同被解除的情形； （5）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位不得在同一标段投标； (6)投标人没有处于国家电力投资集团有限公司相关文件确认的禁止投标的范围和处罚期内；未被列入国家电力 投资集团有限公司供应商涉案“黑名单”。 专用资格条件 资质要求 投标人必须是在中华人民共和国市场监管部门注册的，具有独立法人和一般纳税人资格的激光设备制造企业或代 理企业。代理企业须提供激光设备制造企业出具的有效授权书。同一货物/产品（同一品牌、同一型号)只能有一 家投标人。如为代理商投标，一个制造商对同一品牌、同一型号的货物，仅能委托一个代理商参加投标，否则相 关投标均做无效处理。 |
| 3 |
青海黄河上游水电开发有限 责任公司太阳能电池及组件 研发实验室钙钛矿电池研发 平台建设项目狭缝涂布及附 属设备采购项目 DNYZC-2025-11-26-029-03 |
料）】 投标人基本资格要求 （1）投标人具有独立订立合同的资格； （2）投标人经营状况良好，具有良好的资信和信用（以“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）网站查询 为准，没有被列入严重失信主体名单），没有处于会导致中标后无法履行合同的被责令停产停业、财产被接管、 冻结、破产状态； （3）财务状况及资信 近三年财务和资信状况良好。没有财产被接管、冻结或处于破产状态。应提供银行出具的资信证明、纳税人资格 证明。 (4）投标人近36个月内(含，自投标截止日起往前推算)不存在骗取中标、严重违约及因自身的责任而使任何合 同被解除的情形； （5）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位不得在同一标段投标； (6）投标人没有处于国家电力投资集团有限公司相关文件确认的禁止投标的范围和处罚期内；未被列入国家电力 投资集团有限公司供应商涉案“黑名单”。 专用资格条件 资质要求：投标人必须是在中华人民共和国市场监管部门注册的，具有独立法人和一般纳税人资格的狭缝涂布设 备制造企业或代理企业。代理企业必须提供狭缝涂布设备制造企业出具的有效授权书。同一货物/产品（同一品牌、 同一型号）只能有一家投标人。如为代理商投标，一个制造商对同一品牌、同一型号的货物，仅能委托一个代理 商参加投标，否则相关投标均做无效处理。 业绩要求：投标人应具有近3年内（自投标截止日往前推算，已竣工验收时间为准）完成至少3台及以上，加工 |
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幅面≥300 mm×300mm的狭缝涂布设备在钙钛矿电池制备领域供货业绩，同时至少有1台有效涂布幅面不小于1.2 m×0.6m的供货业绩。【需提供合同复印件（包括合同首页、承包范围、签字页）、竣工证明（竣工验收证明或 业主出具的证明文件或其他有效证明资料）】。 |
| 青海黄河上游水电开发有限 投标人资格要求 责任公司太阳能电池及组件 投标人基本资格要求 研发实验室钙钛矿电池研发 （1）投标人具有独立订立合同的资格； 平台建设项目真空蒸镀设备 |
| 4 |
采购项目 DNYZC-2025-11-26-029-04 |
（2）投标人经营状况良好，具有良好的资信和信用（以“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）网站查询 为准，没有被列入严重失信主体名单），没有处于会导致中标后无法履行合同的被责令停产停业、财产被接管、 冻结、破产状态； （3）财务状况及资信 近三年财务和资信状况良好。没有财产被接管、冻结或处于破产状态。应提供银行出具的资信证明、纳税人资格 证明。 (4）投标人近36个月内(含，自投标截止日起往前推算)不存在骗取中标、严重违约及因自身的责任而使任何合 同被解除的情形； （5）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位不得在同一标段投标； (6)投标人没有处于国家电力投资集团有限公司相关文件确认的禁止投标的范围和处罚期内；未被列入国家电力 投资集团有限公司供应商涉案“黑名单”。 专用资格条件 资质要求 投标人必须是在中华人民共和国市场监管部门注册的，具有独立法人和一般纳税人资格的真空蒸镀设备制造企业 或代理企业。代理企业必须提供真空蒸镀设备制造企业出具的有效授权书。同一货物/产品(同一品牌、同一型号) 只能有一家投标人。如为代理商投标，一个制造商对同一品牌、同一型号的货物，仅能委托一个代理商参加投标， 否则相关投标均做无效处理。 业绩要求 投标人应具有近3年内（自投标截止日起往前推算，以竣工验收时间为准）完成至少3台及以上同类型和功能的 有效加工幅面不小于30mm*30mm 蒸镀设备供货业绩。【需提供合同复印件（包括合同首页、承包范围、签字页）、 |
4.资格后审
招标人将根据投标人提供的投标文件在评标阶段对其进行资格后审，对资格审查不合格投标人，将不进入下一阶段评审，其后果由投标人自行承担。
5.招标文件的获取
5.1招标文件发售方式本项目实行在线售卖招标文件。**
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