*一、项目基本情况

项目编号：招设2025A00140/招标编号：0773-2541GNSHHWGK3424

项目名称：上海交通大学离子束刻蚀设备

预算金额：300.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：300.000000 万元（人民币）

采购需求：

序号	设备名称	数量	简要技术要求	交货期	交货地点
1	离子束刻蚀设备	1套	2.1 ▲不锈钢真空腔，带有预真空室，且适用独立干泵（不得与主机共用），进样室能够一次完成一片≥直径6英寸晶圆的自动传输；干式机械泵（最大抽速不低于35m3/h）。配置氮气气路，用于进样室充气，离子源挡板，腔室有预留口，方便以后设备升级。 其他详见招标文件	合同签订后9个月内完成所有设备的到货及安装调试验收合格	上海交通大学用户指定地点

合同履行期限：合同签订后9个月内完成所有设备的到货及安装调试验收合格

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目非专门面向中小企业采购，执行政府强制采购节能产品、鼓励环保产品、支持中小微企业、促进残疾人就业、支持监狱和戒毒企业、扶持不发达地区和少数民族地区以及限制采购进口产品等相关政策。

3.本项目的特定资格要求：投标人在近三年（自招标公告发布之日起前三年内）内未被国家财政部指定的“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信名单。

三、**

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联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com