1、工作条件
1.1工作条件：220-240V AC
1.2接地：通过腔体接地
1.3环境温度：15°C–30°C
1.4相对湿度：20%–65%RH（不结露）
2、设备用途
TOF-SIMS适用于金属、无机非金属及有机材料的表面及近表面区域进行微区、高灵敏度元素、同位素及有机成分检测，支持ppm级痕量元素的表面质谱分析。
3、技术规格
3.1一次离子源
★3.1.1类型：Cs表面电离离子枪
3.1.2束流能量：≤5kV
3.1.3束流电流：≥1nA（连续模式下）
▲3.1.4最大重复频率：10kHz
▲3.1.5脉冲宽度：30-150ns（FWHM）
3.1.6入射角：与样品台成50°
3.1.7工作距离：25mm（可调±5mm）
3.1.8最小束斑直径：100μm
3.2溅射离子源
★3.2.1类型：O？气体离子源
▲3.2.2束流能量：3000–5000eV
▲3.2.3束流密度：3-5mA/cm2
3.2.4最小束斑直径：100μm
3.2.5入射角：与样品台成50°
3.2.6工作距离：25–30mm
▲3.2.7最大束流：800nA
3.2.8配置专用离子枪控制器
3.3质量分析器
★3.3.1类型：反射式TOF-MS
▲3.3.2质量分辨率：≥3000（FWHM，m/z>40的有机物）
3.3.3质量范围：>1000amu
3.3.4灵敏度：ppm级
★3.3.5质量精度：±5milli-amu
★3.3.6SIMS电离模式：正离子与负离子
3.3.7离子透镜提取间隙（到样品台）：5mm
★3.3.8脉冲提取：对二次离子实现脉冲聚束提取
3.4电子中和枪
3.4.1电子能量：30-40eV
3.4.2电子电流（DC）：≤200nA（连续模式下）
★3.4.3绝缘体分析：支持
★3.4.4工作模式：脉冲工作，在飞行时间周期内电子中和枪与一次离子枪脉冲、二次提取脉冲交替工作
3.5真空系统
★3.5.1泵组：至少包括2个涡轮分子泵+2个干式涡旋泵
★3.5.2分析室极限真空：≤5×10-9Kpa
3.5.3品传输室抽气时间（大气到真空）：<5min
★3.5.4具备压力超高自动切断电压的安全联锁功能
3.6样品台
3.6.1类型：磁耦合样品导入，UHV兼容，手动XYZ调节器
3.6.2行程范围：X：±10mm，Y：±10mm，Z：0-2mm；X、Y调节围绕中心轴作弧线运动
3.6.3倾斜：无
3.6.4样品托：至少包括4位小样品托（≤10×10mm，厚≤4mm）及1个大样品托（≤18×20mm，厚≤5mm）
3.7光学观察系统
▲3.7.1视场：400μm？3mm
3.7.2法兰安装：CF观察窗
3.7.3 至少包含变焦显微镜、二向色照明器、控制器、相机与彩色监视器
3.8控制系统
3.8.1 至少包括PC控制质谱仪、离子源及探测系统，支持自动SIMS极性切换，并可加载已存储的实验参数
3.9数据采集系统
★3.9.1时间数字转换器TDC
▲3.9.1.1 0.25纳秒计时分辨率
3.9.1.2最大突发速率2GHz
3.9.1.3通过标准USB2.0及以上接口与控制器轻松连接
3.9.2二次离子质谱拓展功能的软件
3.9.2.1 应内置专用程序，实现TDC时间-质量自动转换，生成等间隔质量轴质谱图，保留原始计数
3.9.2.2支持标准格式导入/导出
3.9.2.3能够实现二次离子质谱硬件部分的计算机控制和状态显示，实现数据采集、处理、查看和导出
3.10数据库★3.10.1SIMS谱库：含>1000种材料、>1900组正负离子谱图，内置峰搜索与定量工具。
合同履行期限：合同签订后的12个月内将所投产品运抵交货地点并安装调试完毕
需落实的政府采购政策内容：促进中小企业、残疾人企业、监狱企业发展、优先强制采购节能产品和环境标志产品、支持创新产品和服务、支持乡村产业振兴等相关政策等
参加辽宁省政府采购活动的供应商未进入辽宁省政府采购供应商库的，请详阅辽宁政府采购网 “首页—政策法规”中公布的“政府采购供应商入库”的相关规定，及时办理入库登记手续。填写单位名称、统一社会信用代码和联系人等简要信息，由系统自动开通账号后，即可参与政府采购活动。具体规定详见《关于进一步优化辽宁省政府采购供应商入库程序的通知》（辽财采函〔2020〕198号）。
